羅茨泵的結構， 在泵腔內，有二個“ 8 ”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為 1 的一對齒輪帶動做彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，保持有一定的間隙。由于羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故中、高真空羅茨泵需要前級泵。因此，羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空度。